量测仪可定义为一类具有可作3个方位移动的探测器，可在3个互相垂直的导轨上移动，此探测器以接触或非接触等方法传输讯号，3个轴之移动量测系统（如光学尺）经数据处理器或计算机等计算出工件的各点坐标（x,y,z）及各项功能量测的仪器，三坐标测量仪是坐标测量仪中的一类。
  气动量仪这种测量方法是利用光栅绕射所制成的量测系统又称光学尺，其光线经过瞄准透镜而映射到游动刻度尺和主刻度尺，藉其光波产生Moire条纹明暗讯号之原理，由光电管接收其信号，经扩大及修正后就可以展示出来，其系统及输出信号情形。

  使用量测前准备应检查空气轴承压力是不是足够，安装工件测头选取及安装，将恰当之测头装于Z轴承接器，检视Z轴是不是会自动滑落（否则应调整红色压力平衡调整阀）。锁住各轴之恰当位置，量测使用应开启处理机电源，启开打印机开关，参考操作手册，选取所需功能之指令进行量测，并读取量测值。完成后注意事项有Z轴移到原先位置后锁住，X,Y轴各移到中央锁住，关电源及压力阀，拿掉测头并作恰当的保养。