气动量仪测量误差的表示方式有两种：以量值表示，即以所测得量值与实际值之差表示，以这种方式表示的误差称为绝对误差；以比值表示，即以绝对误差与实际值之比表示，以这种方式表示的误差称为相对误差，例如用激光干涉仪测长时，如其最大相对误差为千万分之一，则表示在规定条件下，测量1米长度的误差应不大于0.1微米。

气动量仪测量结果与被测长度真值的一致程度以精确度或准确度表示。它是正确度和精密度的综合，通常简称为精度。若已修正系统误差，则精确度常用不确定度来表示。不确定气动量仪测量度表示由于存在测量误差而对所测量值不能肯定的程度，以标准偏差表示其大小。

气动量仪测量中，常把多次测量被测长度后所得的数据取算术平均值作为测量结果。那是因为根据概率论的大数定律，如果测量次数足够多，那么就可以提高精密度。测量过程中随机误差的出现，基本上是遵循正态分布规律的。

此外，气动量仪还有对测量所得数据进行数学运算以得到所需测量结果的数据处理。例如，用气动量仪量圆度，直接获得的数据是相对某一圆心的半径变化，因此需要按圆度定义作相应的函数运算才能得到圆度误差。